F系列抛光垫片用于半导体晶片的粗抛和中抛,具有高抛光速率、高平坦度和更低晶片缺陷等优点。F系列抛光垫片可用于对硅片、砷化镓、光学玻璃、陶瓷、蓝宝石衬底片等材料的抛光。
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