VECTOR HTS-EU 系列
水基研磨液悬浮添加剂
(应用于硅片、砷化镓等半导体材料研磨加工)
HTS-1.3EUHTS-1.4EU
VECTORHTS-EU系列产品由聚合物材料以及表面活性剂产品合成，具有良好的生物降解性以及悬浮性，应用于和研磨粉 (PWA或FO)以及去离子水配兑制作悬浮性的研磨液，主要应用于硅片、砷化镓等半导体晶片的研磨。使用VECTOR HTS-EU系列产品配制而成的研磨液可以长时间完全分散并悬浮研磨粉颗粒并且能长时间保持研磨液物理、化学性质的稳定。VECTOR HTS系列产品适合使用于各种盘面带沟槽或不带沟槽的研磨机。VECTORHTS-EU系列产品因其化学或物理性质上的区别，在湿润能力、膜的张力以及粘稠度等指标上各有不同。可以影响VECTOR HTS-EU系列产品使用效果的因素包括研磨盘的类型、设备的品牌、加工压力、加工转速、研磨粉的类型等。正确选用合适的VECTOR HTS产品将确保您获得较优化的加工结果。
优 点：
提升硅片的平坦度；减少划伤和破片；增加研磨切削速率；有助于消除划伤；易于后道清洗；
更好的生产稳定性和产品一致性；减少研磨粉用量；废液易于处理；
使用指导：
使用VECTOR HTS系列产品和研磨粉以及去离子水配制研磨液时建议采用如下配比：
去离子水 磨料 VECTOR HTS-EU
77~82% 15~18% 3~5%
使用转速可以达到1750RPM的螺旋桨式搅拌器进行搅拌，采用蠕动式供液泵向研磨设备供应研磨液。
在500RPM到1500RPM的转速下将研磨粉和去离子水混合搅拌10分钟，然后加入HTS-EU系列悬浮剂，继续搅拌5到10分钟后，研磨液表面将形成一个小的漩涡，此时，关掉搅拌器或将搅拌器转速调低至50RPM以下即可。注意：搅拌过程中避免研磨液吸入空气。
其他信息：
VECTORHTS-EU系列产品的标准包装为5 加仑(美制)小桶和55加仑(美制)大桶。
制造商： Intersurface Dynamics, Inc. (美国)
